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          1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統

          產品用途:產品專業性:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

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            • 商品名稱: 1200℃滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
            • 商品編號: 1034429608717279232

            產品用途:產品專業性:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

            銷售熱線:15122725930 

             

            產品用途:

            產品專業性:

            PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

             

            產品組成:

            PECVD系統配置:

            1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

            2.等離子射頻電源

            3.多路質量流量控制系統

            4.真空系統(可選配中真空或高真空)  

             

            產品特點:

            生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

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